掃描電子顯微鏡
發(fā)布時間：
2019-09-24 13:33
【介紹說明】
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種通過用聚焦電子束掃描表面產(chǎn)生樣品的圖像的電子顯微鏡。電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含樣品表面形貌和組成信息的各種信號。以光柵掃描圖案掃描電子束，并將光束的位置與檢測到的信號組合以產(chǎn)生圖像。SEM可以達到1納米以上的分辨率，已經(jīng)廣泛應用于材料分析和失效分析領域。
【優(yōu)點】
放大倍率高；超高分辨率；景深大；保真度好；試樣制備簡單，分析速度快、不損壞試樣。
【結構組成】
電子光學系統(tǒng)；偏轉系統(tǒng)；信號收集檢測、放大系統(tǒng)；圖像顯示、記錄系統(tǒng)；真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)。
【應用】
試樣三維形貌的觀察和分析；試樣微區(qū)的成分分析；材料斷口的分析；直接觀察試樣的原始表面；觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)；試樣動態(tài)觀察；廣泛應用于冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等領域。
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